實(shí)驗(yàn)名稱：納米壓印執(zhí)行器實(shí)驗(yàn)研究

　　測試設(shè)備：ATA-2082高壓放大器、信號發(fā)生器、激光位移傳感器、控制器等。

　　實(shí)驗(yàn)過程：

圖1：實(shí)驗(yàn)平臺

　　搭建了如圖1所示的實(shí)驗(yàn)平臺。實(shí)驗(yàn)過程：信號發(fā)生器輸出的激勵信號經(jīng)過高壓放大器放大之后傳輸至壓電陶瓷，其中正極信號分別傳輸至兩個壓電陶瓷片的外側(cè)電極，負(fù)極信號均連接至執(zhí)行器梁末端的螺栓；激光位移傳感器及其控制器是由24V電源供電，通過計算機(jī)上的控制軟件控制激光位移傳感器的各項參數(shù)；激光位移傳感器的測量范圍有限，在測量之前要保證傳感器與被測量表面之間的距離，被測量表面的位移距離要在傳感器的測量量程范圍內(nèi)。

　　實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

　　圖2：利用激光位移傳感器測量測量執(zhí)行器彎曲方向振動

　　根據(jù)仿真軟件得到的仿真結(jié)果，執(zhí)行器的共振頻率在40kHz左右，利用信號發(fā)生器產(chǎn)生頻率在38kHz至42kHz范圍內(nèi)的正弦波信號，經(jīng)高壓放大器放大至150V后傳輸至壓電陶瓷，利用激光位移傳感器收集不同頻率的正弦激勵信號下執(zhí)行器的位移數(shù)據(jù)，得到不同頻率下執(zhí)行器的振幅，根據(jù)所得到的數(shù)據(jù)確定執(zhí)行器的共振頻率以及振幅。

　　高壓放大器推薦：ATA-2082

　　圖：ATA-2082高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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